扫描透射电镜(STEM)的特点:
(1)STEM技术要求较高,要非常高的真空度,并且电子学系统比TEM和SEM都要复杂。
(2)加速电压低,可显著减少电子束对样品的损伤,而且可大大提高图像的衬度,特别适合于有机高分子、生物等软材料样品的透射分析。
(3)可以观察较厚的试样和低衬度的试样。
(4)扫描透射模式时物镜的强激励,可以实现微区衍射。
(5)应用扫描电镜的STEM模式观察生物样品时,样品无需染色直接观察即可获得较 高衬度的图像。
扫描透射像的形成原理:
在扫描电镜中,电子束与薄样品相互作用时,会有一部分电子透过样品,这一部分透射电子也可用来成像,其形成的像就是扫描透射像(STEM像)。如下图所示,扫描电镜的STEM图像跟透射电镜类似,也分为明场像(bright field,BF)和暗场像(dark field,DF),明场像的探测器安装在扫描电镜样品的正下方,当入射电子束穿过样品后,散射角度较小的电子经过光阑孔选择后进入明场探测器形成透射明场像,散射角比较大的电子经DF-STEM电极板反射,由二次电子探头接受形成暗场像。
STEM是既有透射电子显微镜又有扫描电子显微镜的显微镜。象SEM一样,STEM用电子束在样品的表面扫描,但又象TEM,通过电子穿透样品成像。STEM能够获得TEM所不能获得的一些关于样品的特殊信息。STEM技术要求较高,要非常高的真空度,并且电子学系统比TEM和SEM都要复杂。优点
1. 利用扫描透射电子显微镜可以观察较厚的试样和低衬度的试样。
2. 利用扫描透射模式时物镜的强激励,可以实现微区衍射。
3. 利用后接能量分析器的方法可以分别收集和处理弹性散射和非弹性散射电子。
1.sem扫描电镜的原理是依据电子和物质的相互作用,扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描,激发出各种物理信息。
2.通过对这些信息的接收、放大和显示成像,获得测试试样表面形貌的观察。
3.sem是一种电子显微镜,中文名为扫描电子显微镜,通过用聚焦电子束扫描样品的表面而产生样品表面的图像。
4.它由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统和电源系统组成,应用于生物、医学、材料和化学等领域。
5.扫描电镜(SEM)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。
6.扫描电镜的优点是,有较高的放大倍数,20-20万倍之间连续可调。
7.有很大的景深,视野大,成像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构。
8.试样制备简单。
9.目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置,这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析,因此它是当今十分有用的科学研究仪器。
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