sem的热蚀温度在

105℃。添加Bi2O3后的热蚀温度低于烧结温度105℃时，都能获得效果较好的SEM形貌。热蚀溶液的配方是5～15％NaOH，其余为水，热蚀温度为50～90℃，热蚀时间通常为20～120秒。

扩散泵温度过低。

开机时，初级泵（油泵）抽到一定真空度后扩散泵启动。这时候电热丝会加热扩散泵底部使泵油沸腾。一般这个过程很短，即使提示“温度过低，稍等一会儿”，也就稍等一会儿吧。

如果等很久，扩散泵都不工作，可以看看泵底部是不是热了（注意：高温，不要用手摸）。

如果不热，可能是电热部分损坏了；

如果是高温的，可能是测温元件坏了，或者软件有问题。

扩散泵一般在镜筒正下方，气浮平台里面。

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