谁能告诉我电镜SEM图上下面的这些英文和数据是表示什么意思，厚度么？

20KV 加速电压

放大5万倍

工作距离 11mm

ETD : E-T型二次电子探测器

Spot，束斑大小控制参数

成像模式：二次电子像

2μm 比例尺 scale

FEI 是公司名称 后边是sem型号

测光模式（英文含义）

全区域测光（平价测光）：Multi-segment

局部测光：Centel weighted average

点测光：Spot

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