热场:灯丝常亮,不需要清洁维护,灯丝亮度高,成像效果较好(相同等级的热场FESEM成像效果略逊色于冷场FESEM),EDS效果远优于冷场。
具体选择的电压需要根据具体样品来选择的,一般来讲金属和半导体可能中压10KV和5KV都可以,高分子最好选择5KV的低压,这样可以得到更好的图片效果。以为高分子的导电性能很差,且容易被电压击穿,所以要选择低电压和快速照相模式的组合。
而金属和半导体,导电性能都还好,可以根据调试的效果自行选择电压来操作。
并没有硬性的规定金属,半导体,高分子具体要多少电压。这些都是需要根据具体的图像质量来不断调整的
1、适用范围不同。
冷场发射扫描电镜是一种用于材料科学、化学领域的分析仪器,而热场发射扫描电镜是一种用于物理学、材料科学、能源科学技术领域的分析仪器。热场发射扫描电镜使用范围更广。
2、技术指标不同。
冷场发射扫描电镜:
辨率:1.0nm (15kV),2.0nm (1kV),1.4nm(1KV)入射电子减速功能。放大倍率:×20 ~ ×800,000。加速电压:0.5 ~ 30kV。X射线能谱仪分辨率/有效面积:不低于133eV,10mm2。
热场发射扫描电镜:
放大倍数:35—90万倍。分辨率:工作电压15kV时分辨率为1.0nm。加速电压:0.2Kv—30Kv。能谱:探测元素范围B5-U92。能量分辨率:136eV。
3、主要功能不同。
冷场发射扫描电镜是超显微、形貌与成分分析相结合。而热场发射扫描电镜是物理学,材料科学,能源科学技术。
场发射扫描电镜的环境条件:
扫描电子显微镜的使用环境条件主要涉及温度、湿度、震动、磁场强度、接地等几个因素。
一般情况下,环境温度需控制在22~25℃,相对湿度以小于70%为宜,保证实验室清洁整齐,避免大声喧哗及震动、磁场的干扰。
温湿度控制需配备空调和除湿机,特别是在南方地区一定要保证对湿度的控制,避免温湿度对电镜电子部件的影响。
由于场发射扫描电子显微镜的分辨率较高,对震动和磁场强度的要求也较高,所以需尽量避免震动和杂散磁场的干扰。
一般在安装时,建议将电镜放置在楼体一层,远离输电线路、大功率设备等,并做防震地基和独立地线设置。
电镜地线要求必须是独立地线,即接地体到接线端子均完全独立,避免地线连接到公共接地体。在使用过程中,若周围有杂散磁场,在大倍数观察时图像会出现纵或横条纹干扰。总之,日常使用过程中要严格控制电镜的环境条件。
以ULTRAPLUS扫描电子显微镜为例,环境条件要求如下:温度保持在21~25℃,相对湿度小于65%,磁场强度小于3×10-7T,噪声强度小于65dB,独立地线的接地电阻小于0.1Ω。
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