扫描电子显微镜分辨率

扫描电镜是高能电子散射固体材料，可获得许多特征信号！

微观成像是扫描电镜基本功能，要求高分辨，So可为其他特征信号分析提供精确导航！

SEM一般标配SE探测器，用SE信号获得高分辨像，且SE信号可以充分代表扫描电镜电子光学性能。

Why SE not other？

比靠斯：在电子束样品作用区，可能只有SE取样面积与电子束斑尺寸最接近，且对其尺寸敏感！ 敏感到啥程度？ 例如样品是黄金，SE1的取样面积和束斑面积相同。

BSE也是常用成像信号，但对于黄金样品，电子探针束斑直径1nm 或 2nm，其空间分辨率没有差别。其信号取样范围直径和电子穿透深度相近，大多情况，其分辨率和加速电压相关较多。

总结：提到扫描电镜分辨率，大概就是在说这台电镜的性能，用SE成像分辨率是最为精确的表达，主要影响因素为末级电子探针束斑直径和样品材质。

二次电子信号来自于样品表面层5～l0nm,电子与样品原子的核外电子作用，一部分能量转移到原子，导致原子中的一个电子被逐出而产生二次电子。二次电子信号强弱与样品表面粗糙度有关，可利用二次电子成像的模式-SEI模式观察样品表面形貌。

电子与样品原子的原子核发生弹性碰撞，电子方向发生改变，但无能量损失，这样的电子叫背散射电子。背散射电子信号强弱与样品原子的原子量有关，可利用背散射电子成像的模式-BSE模式观察样品表面元素分布情况。

电镜的原理是：电子枪发出电子束打到样品表面，激发出二次电子、背散射电子、X-ray等特征信号，经收集转化为数字信号，得到相应的形貌或成分信息。

测试注意事项：

1、新人找别人帮忙测试时，

明确自己的测试内容，如何样品前处理，测试时间，然后跟测试相关人员联系确定能否满足你的测试需求

2、新人自己操作测试时，

明确自己的测试内容，如何样品前处理，测试时间，

测试时注意样品干燥洁净，操作时样品和样品台避免撞到探头

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