如何对薄膜厚度，结构，微观形貌及成份进行测试

XRD、SEM和AFM测试没有固定的先后顺序。1XRD（X-raydiffraction）是用来获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构。2SEM（扫描电子显微镜）是一种微观性貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。3AFM（原子力显微镜

SEM的样品可以是大的块状，较小的话就镶样，也可以做粉末样。而TEM的样呢一般是直径3mm的圆片，而且中间有通过离子减薄或者电解双喷等弄出的小孔，也就是说有薄区，如果是粉末样的话需要铜网或者支持膜支撑

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