目前工业界采用CD一SEM对小特征尺寸进行测量。
SEM作为显微镜,可以放大微观物体形态,一般允许误差在放大倍数±5%。在相同工作条件下,放大倍数一般不会漂移,精度可靠。但随着温湿度变化,随着电磁环境变化,可能会有漂移。因为SEM放大和光学显微镜放大完全不同,完全靠扫描线圈和电器元件控制,电器元件的老化,可能会引起放大倍数漂移,因此过两年需要校准放大倍数。另外SEM图像尺寸测量精度问题,这个情况和方舟子质疑韩2身高有些类似,许多人用图像测量得出的结果误差很大。但相同的测量方法精度很高!还有SEM作为材料分析平台,做化学成分分析,晶体结构分析。偏差可以保证2%以内。最后总结:精度靠方法和条件保证!前提是方法一致,条件不要变化!!欢迎分享,转载请注明来源:夏雨云
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