4、SEM观察的样品,必须是平整的样品吗?

SEM对样品的要求。

1、不会被电子束分解。

2、在电子束扫描下热稳定性要好。

3、能提供导电和导热通道。

4、大小与厚度要适于样品台的安装。

5、观察面应该清洁，无污染物。

6、进行微区成分分析的表面应平整。

7、磁性试样要预先去磁，以免观察时电子束受到磁场的影响。

样品室中有样品台和信号探测器样品台还能使样品做平移、倾斜、转动等运动。

试样在样品室中可动的范围非常大，可以在三度空间内有6个自由度运动(即三度空间平移、三度空间旋转)。由于样品可在SEM样品室的三维空间中作平移和旋转运动，所以可从各种角度直接观察样品的表面结构和形貌。

1，制样的时候将样品倾斜放置。

2，用倾斜样品台制样，有些SEM样品台配有30，45,60度倾斜的样品台。

3，高级的SEM，可以讲探头本身倾斜，从而获得大角度的SEM图