4、SEM观察的样品,必须是平整的样品吗?

不是。

SEM对样品的要求。

1、不会被电子束分解。

2、在电子束扫描下热稳定性要好。

3、能提供导电和导热通道。

4、大小与厚度要适于样品台的安装。

5、观察面应该清洁，无污染物。

6、进行微区成分分析的表面应平整。

7、磁性试样要预先去磁，以免观察时电子束受到磁场的影响。

可以有3个方法：

1，制样的时候将样品倾斜放置。

2，用倾斜样品台制样，有些SEM样品台配有30，45,60度倾斜的样品台。

3，高级的SEM，可以讲探头本身倾斜，从而获得大角度的SEM图

SEM其实只是一个ADD ON. 装完BW后.按如下顺序装 BASIS patch ABAP patch PI basis + patch BW Support package install BI Content + patch install FI Basis + patch install SEM + patch install

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