谁知道EBL 跟TPM是什么意思

EBL

Experiment-based learning

基于实验的教学方法。 电子束曝光系统（electron beam lithography, EBL，又称电子束暴光系统）是一种利用电子束在工件面上扫描直接产生图形的装置。由于SEM、STEM及FIB的工作方式与电子束曝光机十分相近，美国JC Nabity Lithography Systems公司是最早研发了基于改造商品SEM、STEM或FIB的电子束曝光装置（Nanometer Pattern Generation System纳米图形发生系统，简称NPGS，又称电子束微影系统）。电子束曝光技术具有可直接刻画精细图案的优点，且高能电子的波长短（<1 nm），可避免绕射效应的困扰，是实验室制作微小纳米电子元件最佳的选择。相对于购买昂贵的专用电子束曝光机台，以既有的SEM等为基础，外加电子束控制系统，透过电脑介面控制电子显微镜中电子束之矢量扫描，以进行直接刻画图案，在造价方面可大幅节省，且兼具原SEM 的观测功能，在功能与价格方面均具有优势。由于其具有高分辨率以及低成本等特点，在北美研究机构中，JC Nabity的NPGS是最热销的配套于扫描电镜的电子束微影曝光系统，而且它的应用在世界各地越来越广泛。（NPGS最突出优点是技术先进性无与伦比且性价比高）

TPM

TPM安全芯片TPM实际上是一个含有密码运算部件和存储部件的小芯片上的系统，由CPU、存储器、I/O、密码运算器、随机数产生器和嵌入式操作系统等部件组成。

TPM管理是通过对设备的六大损失(故障损失、工艺调整损失、突停和空转损失、速度损失、废次品损失、开工损失)和生产现场的一切不良因素实施持续的改善，努力实现“5Z”(零事故、零故障、零缺陷、零库存、零差错)的目标，从而达到最佳的设备综合效率和企业经营效益，提高企业的市场竞争能力和应变能力，最终达成“3S”(员工满意、顾客满意、社会满意)的可持续发展的企业，其目标是明确的。

方法/步骤

1、目标性：人类的每一项活动都是为了取得一定的效果，达到一定的目标。TPM管理也不例外，它的目标就是要不断追求企业生产效率的最大化，全面提升企业的综合素质。具体来讲，TPM管理是通过对设备的六大损失(故障损失、工艺调整损失、突停和空转损失、速度损失、废次品损失、开工损失)和生产现场的一切不良因素实施持续的改善，努力实现“5Z”(零事故、零故障、零缺陷、零库存、零差错)的目标，从而达到最佳的设备综合效率和企业经营效益，提高企业的市场竞争能力和应变能力，最终达成“3S”(员工满意、顾客满意、社会满意)的可持续发展的企业，其目标是明确的。

2、系统性：就是TPM管理涉及企业生产系统的全方位和全过程。TPM把设备包括引进、安装、调试、使用、维护、维修、改造，直到报废更新的各个阶段作为管理对象，涉及设备的各个子系统以及设备的每一个部件、零件，构成以事后维修、预防维修、改善维修和维修预防为主导的全系统生产维修体系。同时，TPM要求对设备环境、车间以至整个生产现场实行清洁化、定置化、目视化和文明化的管理。

3、集合性：TPM管理由一些相对独立而又相互依赖的活动内容组成，这就是我们所说的TPM八大支柱，即：个别改善、自主维修、专业维修、初期管理、质量管理、安全与环境管理、事务改善、教育培训。这些活动既有区别，又有联系，相互制约，相互促进，例如维修管理影响着环境管理，环境管理又影响着质量管理，各项活动相互交织在一起，形成一个错综复杂的链和环。

4、整体性：虽然TPM管理的每一项活动内容都是可以量化的，各自具有其独立的功能，但是由于这些活动都是有组织、有系统的活动，它们几乎都难以独自充分发挥其效能，因此单纯追求某一个目标是没有意义的，必须使这些活动形成一个集合，统一于和协调于TPM管理的整体之中，围绕着TPM管理的目标，共同发挥各自的功能，这样才能构成完整的有机整体，形成一个总体效应。

5、开放性：作为当代企业管理的重要组成部分，TPM管理处于整个企业管理的大环境中。因此，TPM管理必将受到企业资源条件、环境条件、人员素质、管理方法和管理手段的影响和作用，同时，TPM管理状况也将作用于和影响于企业管理及其它各项专业管理。由此可知，TPM管理与所处的环境之间既有输入，又有输出，相互渗透，相互促进，每一次输入输出过程的完成，都应使企业管理、专业管理及TPM管理水平有所提高。

6、全员性：TPM管理要求企业从最高领导到生产第一线作业人员的全面参与。事实上，对于一个象鞍钢这样的特大型钢铁企业来说，仅靠某个管理部门或是几个人来抓，是无法把住质量关、成本关、设备维护关、安全生产关的，必须把所有员工都发动起来，充分调动其积极性、主动性和自觉性，实现群体参与，才能使推进TPM管理工作开展起来并坚持下去。全员参与是TPM管理最基本的特征。

7、动态性：对于TPM管理的要求，在一定时间内是相对稳定的，但是随着企业管理水平的提高和企业生产经营活动的发展，特别是我国加入WTO后企业直接面对的世界经济全球化和国内市场国际化的新挑战和新环境，TPM管理也应与之相适应，不会也不应该停滞在一个水平上。TPM管理始终处于动态的PDCA循环过程中，才会有生命力，才会有效地发挥其独特的功能。

8、持续性：企业追求“5Z”目标和效率最大化的完美境界是无止境的，因此企业推进TPM管理不是突击性的、临时性的工作，不可能一劳永逸，它是一项连续不断的、持久的、艰巨的管理活动，稍有松懈，就有可能崩跨，前功尽弃。因此，推进TPM管理必须思想上重视，工作上狠抓，切实下大力量，常抓不懈，才能推动企业管理水平的不断提高。

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