金属试样做SEM和EDS之前需要侵蚀吗？

如果你只是做金属材料中的夹杂等成分，可以不用侵蚀，直接使用背散射观察，然后用EDS进行

成分分析

；如果你需要看材料的

基本组织

，第二相等，需要侵蚀，然后SEM观察，同时可在感兴趣的位置进行EDS，包括点、线、面的成分分析。

SEM主要优势是观察粗糙的原始表面，一般无需对样品表面进行特殊处理，在微区属于无损分析。

如果看金相，需要从形状形貌上来鉴别是什么相，肯定需要腐蚀，因为SEM成像，需要有确切的形貌存在，例如镜面抛光后，图像没有形貌反差，也就无从鉴定相。有时候看夹杂物则无需腐蚀，镜面抛光后，直接使用BSE信号成像，会清晰的表现Z反差。但一般的Z反差和相反差并不完全相符。

我认为不可行。材料的腐蚀机理多种多样，有可能是畸变、位错、结构的不均匀性、夹杂等因素导致形成局部腐蚀微电池，你怎么区分腐蚀区域是什么原因造成的，生成的化合物是什么，是几价？每种原因速率肯定不一样，生成的元素含量都会有差别。而且初始厚度是多少怎样确定？加工都会有误差。既然要用到SEM这类仪器，不做到微观层次的分析意义就不大了

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