SEMEDX在测表面元素的时候测得多深？拜托了各位 谢谢

二次电子扫描象的分辨本领最高，约等于入射电子束直径，一般为6-10nm深，主要用于测试表面形貌；背散射电子为50-200 nm深，可以测表面形貌，也可以得到表面成分衬度；吸收电子和X射线为100-1000nm深，这些信号主要用来得到表面元素。 查看原帖>>

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应该是景深吧``

焦深计算公式

L= ±[(r/M)-d]/2α 其中：

L: 焦深

r: 显像管最小分辨距离

M：放大倍数

d：入射电子束直径

2α：物镜孔径角。

从上面的式子可以看出影响焦深的因素，其中隐含了工作距离w。物镜孔径角与工作距离和入射电子束直径有关。由于r（显像管的分辨率）和2α都是未知数，实际上不能计算。焦深也只是个人的视觉感受，还是直观的测量一下为好。

又查了资料``显像管最小分辨距离为0.22mm-0.3mm, 孔径角的典型数值为10-2—10-3rad.利用公式L= ±[(r/M)-d]/2α可以计算出在有效放大倍率下的焦深数据。设d=3纳米，孔径角2α=10-2 rad，r=0.3mm。计算焦深如下：

1000倍下为59.4微米。5000倍下为11.4微米。10000倍下为5.4微米。超过100000倍已经超过了有效放大倍率。不能计算。

不可以。

由于微塑料尺寸较小，我们可以尝试EDS观测其形貌。样品形貌均一，元素分布均匀，无明显微塑料的信息，多次尝试未果，所以未经分离富集的土壤样本直接进行微观分析，难以发现微塑料的信息。eds穿透能力和样品密度也有关的。

eds不是表面技术，和sem形貌信号源完全不同，当然没可比性，eds纵向分析深度至少也是微米级。扫描电镜的能谱分析就是分析的表面附近一两个微米以内范围的成分。这是因为电子束的能量有限，不可能打到厚度较深的区域。sem电子束的穿透深度是微米级的，如果你样品表面只有几纳米，建议用其他表征方法。sem穿透深度和你用的加速电压有关系，电压小穿透浅，你可以试试用5千伏特。

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