SEMEDX在测表面元素的时候测得多深？拜托了各位 谢谢

二次电子扫描象的分辨本领最高，约等于入射电子束直径，一般为6-10nm深，主要用于测试表面形貌；背散射电子为50-200 nm深，可以测表面形貌，也可以得到表面成分衬度；吸收电子和X射线为100-1000nm深，这些信号主要用来得到表面元素。 查看原帖>>

EDX测试仪主要是通过X射线来检测相应的物品，在原则上是有辐射，但是此要分为两种情况，也就是市面上出现的，第一：台式的EDX检测仪，在原理上采用封闭式的检测方式，在检测过程中大大减少了仪器对人体的辐射，相对此比电脑辐射还小，当然也要看品牌。第二：手持式的EDX，优势是面积小，方便携带。弊端：在检测过程中，需要认为收工的去操作，在检测过程中大量的X射线产品的辐射会放射出来，会导致辐射加大。 我司是销售台式的EDX，如果有什么问题可以随时咨询。我尽量帮你解决，谢谢。联系人:杜生，0755-61393165

1.0目的:为确保EDX1800 仪器正确操作,延长仪器使用寿命而制定。

2.0范围:本公司使用在EDX1800 检测皆属之.

3.0权责:

仪器室： 负责仪器的操作、日常保养与维护以及样品的储存。

IQC：按照《高风险物料检测频率一览表》进行送检。

4.0定义：

4.1各元素：各元素的名称及代号见“元素周期表”

5.0作业内容

5.1操作流程

5.1.1打开EDX1800仪器的红色“ON/OFF”按钮开关，同时红色指示灯会亮起，再打开计算机；

5.1.2打开“RoHS”检测软件，点击“预热”进行30分钟预热功能（注：冬天、夏天必须预热30分。）；

5.1.3点击菜单“初始化”进行初始化，并将“银校验胶片”放入到检测箱中的“测试端口”进行校正动作；

5.1.4初始化OK后，收回“银校验胶片”放入工具箱中进行保存；

5.1.5将要测试的产品放进检测箱中的“测试端口”中间，盖上检测箱盖，然后在“工作区”上选择要测试产品的类型，再点击菜单“开始”进行测试（此时检测箱上的绿色指示灯会亮起），同时弹出一个对话框填写样品的信息（如：测试样品名称、测试次数等）；

5.1.6测试完毕后，“历史记录”区会显示所测试样品的信息（包括样品名称、有害物质信息等）；

5.1.7然后打开菜单“分析报告”后，点击“保存”该测试报告及保存路径，同时可打印此测试报告；

5.2操作注意事项：

5.2.1此仪器应由专人负责，任何人其他人不得搬动、操作此仪器，否则后果自负；

5.2.2此仪器为精密仪器，测量中要避免受到干扰：

如：电机、振动、电焊、电磁、高压等；

5.2.3仪器应有交流净化稳压电源，保证电源稳定；

5.2.4测量室需配有空调，防止温差过大（温度控制15℃-30℃）；

5.2.5开机后，仪器需要预热15-30分钟后，才可以进行正常的测试工作；

5.2.6放样品时要注意清洁，不可使样品尘粒掉到测试窗口内，操作设备还要轻拿轻放；

5.2.7探测器窗口为铍金属，厚度在微米级，受外力极易破坏。探测器铍窗损坏，有空气进入，可直接导致探测器报废。因此，不得用任何物品接触探测器窗口。

5.2.8测量不同种类的样品，应先用不同的测试类，并根据提示使用相应的准直器，才能得到有效的测试效果；

5.2.9关机顺序：退出测试程序---关计算机主机---关测试仪主机---关稳压电源。

5.3EDX系统设置：

5.3.1计算机软件系统禁止人为设置。

5.3.2XRF标准可参考锦承《HSF技术标准》进行设置，但需考虑到30%的误差值。（因考虑到人为操作、样品分解程度的因素），具体见附件“XRF标准”，同时《HSF技术标准》有更新时，XRF标准将同步更新设置。

5.4保养与维护：

5.4.1日常保养

5.4.1.1器室每天17：00之前依据以下内容进行日常点检，并记录在《EDX日常保养点检表》上。

1）用无尘布对测试箱内、箱外进行擦拭，勿用强酸强大碱进行洗擦；

2）不定时的清理测试箱里的杂物；

3）检查电源是否有松动、破损现象；

4）检查测试箱的测试端口的膜是否有破损；

5）测试箱内的端口盖子是否随意打开（此盖禁止打开）；

6）检查常用备用零件是否完整，无遗失，如：银校验片、样品杯、端口备用膜等。

5.4.2定期维护

每年8月初由仪器制造商或有请资质的机构对仪器进行年度保养与维护，并保存记录。

5.5样品的测试与保存：

5.5.1样品测试

5.5.1.1仪器室人员接到样品，需对样品进行分解成均一材质，对每一个分解后的小样件进行测试，并保留分解后的样品及测试报告。

5.5.2样品与测试报告的管理

5.5.2.1每个被测试的样品需用塑料袋或自封袋储存，里面包括所分解的每一种小样件及测试报告，样品标签。（标签含样品名称、测试日期、测试人、来料日期/批号，有效期等）

5.5.2.2样品及测试报告的保存期限为半年，超过将予以销毁。（如客户有要求，依客户要求执行。）

6.0参考文件

6.1《进料检验管理程序》

6.2《高风险物料检测频率一览表》

7.0记录

7.1《EDX日常保养点检表》

附件：XRF标准设置：

序号 有害物质 锦承标准 误差值 XRF标准

3 铅Pb 20ppm 30% ND

2 汞Hg 20ppm 30% ND

4 镉Cd 20ppm 30% ND

1 铬Cr ND 30% ND

5 溴Br 900ppm 30% 630ppm

6 氯Cl 900ppm 30% 630ppm

7 砷As ND 30% ND

备注：当 标准有更新时，QS人员将及时修订XRF标准，仪器管理人员同时更新设置系统XRF标准。

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