请教不导电样品的SEM观察

请教不导电样品的SEM观察,第1张

嘿嘿 这位同学应该刚刚接触到这个sem吧!简单的说吧——由于sem的成像原理是通过detecter获得二次电子和背散射电子的信号,而若样品不导电怎或造成样品表面多余电子或游离粒子的累积不能及时导走,一定程度后就反复出现充电放电现象(charging)。

如果能喷金,显然是喷金后图像质量更好,只有实在不能喷金的样品,例如不能干燥的样品或者是结构尺寸太小(一般小于5nm)的样品,或者要做能谱之类的分析,才考虑不喷金做电镜

做低真空SEM跟钨灯丝SEM的成本比起来差好几倍甚至十几倍,要比较他们的性能也太不公平了。

钨灯丝电镜如果喷金后观察大约可以有效放大到两万倍以上。低真空电镜虽然标称的分辨能力要强很多,用标准样品的话,上到几十万倍都有可能。但是实际情况受样品的影响很大,能放到多少倍很难说,不一定能比喷金后用钨灯丝电镜看得好。


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