扫描电子显微镜在材料分析中的应用

扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析，各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体、晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。

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SEM描电镜主要应用于微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。SEM一般通过搭配能谱仪EDS使用,可利用EDS进行元素成分定性、定量分析。用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污 染物的化学元素组成。

在日常的材料测试表征中，扫描电子显微镜（SEM）是使用频率最高的仪器之一，对于电镜照片来说，其中最重要的就是标尺，通过标尺可以对材料的尺寸进行定量分析，因此必不可少。但是，有时由于操作失误等原因保存的图片中没有原始标尺，如果重新拍照，那就太费时费力了。在这里，小编教大家一招，利用DigitalMicrograph（DM）让没有标尺的电镜照片也能快速准确地添加标尺，下面一起学习吧：

1. 首先点击File—Open（图1），选择要处理的图片及同名的TXT文件，点击打开（图2），如图所示（图3-4）

图1

图2

图3

图4

2. 在图4中找到PixelSize，复制后面的数字（本例中为1.240234）

3. 在图片上点击右键，选择ImageDisplay（图5），然后点击Calibration，将Dimension中Scale处的数字改为步骤2中复制的PixelSize（本例中为1.240234），并在最后的Units处输入标尺的单位（本例中为nm）（图6），然后点击OK

图5

图6

4. 点击Edit—Data Bar—Add Scale Marker（图7），就会出现标尺（图8）

图7

图8

5. 点击标尺，就可以拖动标尺的位置，然后四角会出现绿色的方块，点击拖拽方块可以调整标尺的大小和长度（图9），最后根据需要调整到合适的位置和大小即可（图10）

图9

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