扫描电镜sem的主要原理是什么？测试过程需要重点注意哪些操作

电镜的原理是：电子枪发出电子束打到样品表面，激发出二次电子、背散射电子、X-ray等特征信号，经收集转化为数字信号，得到相应的形貌或成分信息。

测试注意事项：

1、新人找别人帮忙测试时，

明确自己的测试内容，如何样品前处理，测试时间，然后跟测试相关人员联系确定能否满足你的测试需求

2、新人自己操作测试时，

明确自己的测试内容，如何样品前处理，测试时间，

测试时注意样品干燥洁净，操作时样品和样品台避免撞到探头

SEM描电镜主要应用于微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。SEM一般通过搭配能谱仪EDS使用,可利用EDS进行元素成分定性、定量分析。用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污 染物的化学元素组成。

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