用SEM测超薄薄膜厚度，如何制样才能保证导电性足够好？

小夏•2023-4-28•服务器知识•阅读28

想准确测定厚度还是很麻烦的，关键就在于制样，关于镀层或者薄膜厚度的测定有相关标准的，标准名称我不太记得了，改天给你发过来也行（如果需要），大概意思是说在要测的镀层外面再镀一层镍，然后把材料固化在树脂中，再做截面，或者抛光，然后再测定，关键是不要破坏镀层.关于SiO2不导电的问题，喷金或者喷碳就可以解决.

粗糙组和厚度是完全两个概念，二者之间没有直接的联系和差别。

AFM测的粗糙度是材料的表面形貌特征。

而你SEM做出来的厚度，只是表征材料厚度的，和表面粗糙度没有联系

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