EDS分析求助

1. 可以。无论是SEM还是TEM均可，只是多数情况下，EDS采用无标样定量，定量分析结果是半定量的，不能作为决断性证据，而只能做其他表征手段的support information。分析方法很简单，EDS能谱都有直接定量分析的功能，为了准确，你可以多点分析（大于20个点），取平均值。2. 一个点的分析区域对于通常的SEM区域是以电子束束斑为大小的圆斑，往下是一个梨形扩展区，通常会有几个立方微米的空间，但如果只是一个单分散的纳米颗粒，下面没有其他干扰，分析区域可以准确到电子束斑大小。对于TEM，则和后面的那种情况相同。顺便说一下：在EDS采集样品信息时，一般建议用取点分析，而不是取框，因为如果不做设定，通常一个点的分析时间和一个框的总分析时间相同，那么一个框的分析时间平均到每个区域点，会使采样时间极其短暂，从而影响定量结果的准确性（信号量不足会影响少量元素组分的定量）。

当然有原始数据！（如果你是和SEM一起测的话）在你保存文件的文件夹里有个Untitled文件夹，你的数据就在里面，这个就是EDS的原始文件。通过一个专业的软件（这个软件是什么我不知道）才能将这个Untitled文件夹里的数据（View什么什么的格式的数据）转换成word格式的。

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