SEM改变景深大概通过这么几个途径
(1)增大工作距离(WD)
(2)减小束斑尺寸(Spot)
(3)增加光阑数量
(4)有效的消除象散
另外,景深也是和放大倍数有关,在小的放大倍数下,景深要大很多。
7500F是日本电子卖的比较好的冷场,冷场的束斑较热场的要小很多,因此景深应该可以保证。
要是放大倍数要求不大的话,建议采用环境扫描电镜,那个在20000倍以下,成像效果挺好的。我的是喷金以后,用场发射电镜,效果也挺好的啊你是不是用手不小心抹掉了,二氧化硅薄膜很脆弱的
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