测sem时的硅片的作用

测sem时的硅片的作用,第1张

检查硅片表面残留的涂层或均匀薄膜。扫描电镜SEM是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。测sem时的硅片的作用检查硅片表面残留的涂层或均匀薄膜,硅片是生产集成电路、分立器件、传感器等半导体产品的关键材料,是半导体产业链基础性的一环。

可以现在乙醇中超声分散,然后用硅片捞取样品,用导电胶粘在样品台上,这样看纤维我觉得比较好另外,如果实在要看固体粉末,不要直接粘在导电胶上,这样不是很好,我觉得还是用铜片好一点,不过尽量不要看固体,高度不均的情况下,看到的图像也是相称度很差


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