1、结构差异。主要体现在不同样品在电子束光路中的位置不同;
2、焦深不同。电子束在穿过样品时,会和样品中的原子发生散射,样品上某一点同时穿过的电子方向不同。
你说的厚度如果用SEM只能粗略的估计,利用背景的亮度差别,其实效果不一定很好的。样品的制作只要你把样品粉末比较充分的分散,可以用去离子水,滴一滴就可以,样品制作的好坏关键就看分散性如何,不能太浓也不能太希SEM,全称为扫描电子显微镜,又称扫描电镜,英文名Scanning Electronic Microscopy. TEM,全称为透射电子显微镜,又称透射电镜,英文名Transmission Electron Microscope.
区别:
SEM的样品中被激发出来的二次电子和背散射电子被收集而成像. TEM可以表征样品的质厚衬度,也可以表征样品的内部晶格结构。TEM的分辨率比SEM要高一些。
SEM样品要求不算严苛,而TEM样品观察的部分必须减薄到100nm厚度以下,一般做成直径3mm的片,然后去做离子减薄,或双喷(或者有厚度为20~40μm或者更少的薄区要求)。
TEM可以标定晶格常数,从而确定物相结构;SEM主要可以标定某一处的元素含量,但无法准确测定结构。
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