SEM电子枪用于产生电子,主要有两大类,共三种。 一类是利用场致发射效应产生电子,称为场致发射电子枪。这种电子枪极其昂贵,在十万美元以上,且需要小于10-10torr的极高真空。但它具有至少1000小时以上的寿命,且不需要电磁透镜系统。 另一类则是利用热发射效应产生电子,有钨枪和六硼化镧枪两种。钨枪寿命在30~100小时之间,价格便宜,但成象不如其他两种明亮,常作为廉价或标准SEM配置。六硼化镧枪寿命介于场致发射电子枪与钨枪之间,为200~1000小时,价格约为钨枪的十倍,图像比钨枪明亮5~10倍,需要略高于钨枪的真空,一般在10-7torr以上;但比钨枪容易产生过度饱和和热激发问题。
后者就是所谓的钨灯丝扫描电子显微镜
1、 一个热阴极,它被加热以通过热离子发射产生电子流;
2、 产生电场以聚焦电子束的电极(例如Wehnelt 圆柱体);
3、 一个或多个阳极加速并进一步聚焦光束的电极。
阴极和阳极之间的大电压差使电子加速远离阴极。放置在电极之间的排斥环将电子聚焦到阳极上的一个小点上,代价是阴极表面上的提取场强度较低。在这个小点处通常有一个穿过阳极的孔,电子通过该孔形成准直束,然后到达第二个阳极,称为收集器。这种排列类似于Einzel 镜头。
电子枪的分类方式包括电场的产生方式(直流或射频)、电子发射的机制(热发射、光阴极、场致发射、等离子体源)、聚焦方式(纯静电或使用磁场)、以及电极的数量。
原理
在电子枪里,灯丝,一般是钨丝,通电加热后,表面产生大量的热电子,在阳极和阴极之间的高压电场作用下,热电子加速向阳极方向高速移动,并获得很高的动能。其具体速度值取决于加速电压的高低,一般可以达到光速的三分之二左右。
在聚焦线圈的作用下可使电子束流聚焦,在导向线圈,又称偏转线圈的作用下可使电子束发生偏转,从而在一定范围内进行扫描。电子枪的工作电压通常在几十到几百千伏之间,为防止高压击穿、束流散射及其能量减损,电子枪的真空度须保持在6.67x10^-2帕以上。
电子枪的应用
电子枪最常见的用途是阴极射线管,阴极射线管广泛用于计算机和电视监视器,直到平板显示器使它们过时。
大多数彩色阴极射线管包含三个电子枪,每个电子枪产生不同的电子流。每个流都穿过一个荫罩,在那里电子将撞击红色、绿色或蓝色 磷光体以点亮屏幕上的彩色像素。观察者看到的最终颜色将是这三种原色的组合。
一个电子枪也可用于电离通过从加入电子至或移除电子的粒子原子。该技术有时用于质谱分析中称为电子电离的过程,以电离汽化或气态粒子。更强大的电子枪用于焊接、金属涂层、3D 金属打印机、金属粉末生产和真空炉。
电子枪也用于医疗应用,以使用直线加速器(直线加速器)产生X 射线;高能电子束击中目标,激发X 射线的发射。
电子枪也用于微波频率的行波管放大器。
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