透射电镜edx能谱数据导出来后怎么分析

测试出能谱后，对应的软件上有显示元素种类，该元素对应哪几个峰形。有时候会出现很多不知名的其他元素，这个时候要根据自己所测试物质所含元素的组成进行辨别。测试时，分为面扫和点扫，面扫对应SEM上显示的一个面中各元素含量，点扫则对应该点（实际上由于探针会飘动，所以也会收集到附近/周围点的元素情况）。收集的时间长短，决定了峰的强度大小，一般为了数据可靠，收集的时间要长一些。最后，EDX会给出以At%和wt%为单位的各元素数据，At%表示原子百分数，wt%表示质量百分数。根据wt%除以各种元素的相对原子质量，可以计算出物质的结构式。但是，EDX只是一个半定量的测试方法，结果还不够精确。想要获得更加精确的数值，可以用ICP（含金属的物质）。

因为有些扫描机器在EDX模式下，不会支持单独的图像采集，但是你在打完能谱以后，能谱会自动将你打能谱的图片，和你的能谱数据保存在一起，所以你也不需要单独采集这个图像。

另外，不知道你是企业还是科研论文用的。我们一般的做法是在SEM图像的模式下采集图片A，因为这个模式下图像最清晰，然后就选取这个图片的位置不动，调整工作距离和工作电压来进行EDX的采集，由于电压和距离的调整，此时图片B的质量很差，但是工作参数很适合打EDX，这是收集EDX数据，然后你在论文或者结果展示的时候用你在图像模式下采集的图像A来作为图像，然后一起附上EDX的数据，这样处理时最佳的

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