FIB和SEM的优劣分析 从成像原理,成像效果,成本,通用性等多方面解答一下.

FIB带有SEM功能；FIB另外的功能就是微加工.

SEM是电子束成像原理.

FIB中带有电子束成像,也可以离子束成像（一般不用,对样品表面形貌损伤太大）.

如果您只观察形貌的话,用SEM即可,FIB的电子束成像方面和SEM都一模一样.

fib带有sem功能；fib另外的功能就是微加工。

sem是电子束成像原理。

fib中带有电子束成像，也可以离子束成像（一般不用，对样品表面形貌损伤太大）。

如果您只观察形貌的话，用sem即可，fib的电子束成像方面和sem都一模一样。

谢谢！

注: 并非用Ga+才叫FIB(In, Au.AsPd2),只是大多数商用FIB都是用Ga,因为-?(整理好在写).Focused(聚焦): 将离子束聚焦Ion(离子): Ga --- Ga+Beam(束):很多离子往同一路径(方向)移动________________________________________聚焦太阳光(光束)。

---