用SEM测超薄薄膜厚度，如何制样才能保证导电性足够好？

想准确测定厚度还是很麻烦的，关键就在于制样，关于镀层或者薄膜厚度的测定有相关标准的，标准名称我不太记得了，改天给你发过来也行（如果需要），大概意思是说在要测的镀层外面再镀一层镍，然后把材料固化在树脂中，再做截面，或者抛光，然后再测定，关键是不要破坏镀层.关于SiO2不导电的问题，喷金或者喷碳就可以解决.

既然是看膜，就需要楼主决定要看自然状态下的膜，还是制品的膜形貌了，制品自然要按照工艺制膜。如果能够拿到膜，可以直接用聚合物膜粘在我提到的导电胶带上，处理方式和之前回答你的一样，喷金、引导电胶。

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