放大5万倍
工作距离 11mm
ETD : E-T型二次电子探测器
Spot,束斑大小控制参数
成像模式:二次电子像
2μm 比例尺 scale
FEI 是公司名称 后边是sem型号
这是EDAX公司制造的EDS 采集SEM图像做能谱分析时候的信息,具体如下:KV 加速电压 :15千伏特
Mag(magnification) 放大倍数:1700倍
TILT 样品台倾斜角度:0°
MicronsPerPixY 样品上编制的每个像素面积:0.071平方微米。可以换算成束斑尺寸,直径大概300nm。
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