扫描电镜sem的主要原理是什么?测试过程需要重点注意哪些操作

扫描电镜sem的主要原理是什么?测试过程需要重点注意哪些操作,第1张

电镜的原理是:电子枪发出电子束打到样品表面,激发出二次电子、背散射电子、X-ray等特征信号,经收集转化为数字信号,得到相应的形貌或成分信息。

测试注意事项:

1、新人找别人帮忙测试时,

明确自己的测试内容,如何样品前处理,测试时间,然后跟测试相关人员联系确定能否满足你的测试需求

2、新人自己操作测试时,

明确自己的测试内容,如何样品前处理,测试时间,

测试时注意样品干燥洁净,操作时样品和样品台避免撞到探头

SEM,全称为扫描电子显微镜,又称扫描电镜,英文名Scanning Electronic Microscopy. TEM,全称为透射电子显微镜,又称透射电镜,英文名Transmission Electron Microscope.

区别:

SEM的样品中被激发出来的二次电子和背散射电子被收集而成像. TEM可以表征样品的质厚衬度,也可以表征样品的内部晶格结构。TEM的分辨率比SEM要高一些。

SEM样品要求不算严苛,而TEM样品观察的部分必须减薄到100nm厚度以下,一般做成直径3mm的片,然后去做离子减薄,或双喷(或者有厚度为20~40μm或者更少的薄区要求)。

TEM可以标定晶格常数,从而确定物相结构;SEM主要可以标定某一处的元素含量,但无法准确测定结构。

可在样品仓内加装光学相机来拍摄照片,

以往通过经验寻找目标位置,现在可在显示屏上直接操作。在拍摄SEM图像时,由于TM4000和TM4000Plus配置双轴马达,原来需手动调整的操作,现在只需在显示器上选择要观察的位置即可。

寻找目标位置:指确认正在观察的样品位置和寻找要观察的样品位置的操作。一般情况下,电子显微镜放大倍率较高,不仅仅需要观察局部图像,还要观察整体的图像。

*2双轴马达台:根据操作人员的观察需求,可自动将样品移动到SEM图像拍摄位置的装置。

在确认拍摄的SEM图像时,由于SEM图像放大倍率高,找到所有SEM图像的观察位置需要花费一定时间。而这种机型可使用软件将低倍率和高倍率SEM图像的位置关系进行关联,并将结果显示在显示器上,使各图像的位置更为直观。


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