维修经验表示不可以。参考下面经历过
的人的原文:“修好了,那块芯片型号是SEM3040。上一位师傅怎么可以用FAN7530直接代换真是弄不懂他了,害我找遍了网络,才发现只有SEM3040和实物图相近,果断网购了几片今天到货装上通电再没有嗒嗒声了,声像俱佳。”对于快速地检测电子束曝光制造出的小
纳米结构的尺寸和缺陷并保证其不受到损伤是纳米加工进入10nm
尺度面临的另一重大技术问题。同时,在集成电路制造中,多层制造需要对标记进行极高精度的检测"显然,光学的无损伤检测方式己无法应用于10nm尺度范围,因此基于能量束的检测方法是必须采取的方式"。
目前工业界采用CD一SEM对小特征尺寸进行测量。
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