ocd光学线宽测量和cd-sem的区别

SEM作为显微镜，可以放大微观物体形态，一般允许误差在放大倍数±5%。在相同工作条件下，放大倍数一般不会漂移，精度可靠。但随着温湿度变化，随着电磁环境变化，可能会有漂移。因为SEM放大和光学显微镜放大完全不同，完全靠扫描线圈和电器元件控制，电器元件的老化，可能会引起放大倍数漂移，因此过两年需要校准放大倍数。另外SEM图像尺寸测量精度问题，这个情况和方舟子质疑韩2身高有些类似，许多人用图像测量得出的结果误差很大。但相同的测量方法精度很高！还有SEM作为材料分析平台，做化学成分分析，晶体结构分析。偏差可以保证2%以内。最后总结：精度靠方法和条件保证！前提是方法一致，条件不要变化！！

你那个客服说的1PPM—100

，应该是指是仪器偏差相对真值的范围，光谱仪精度主要体现在精密度和稳定性：光谱仪的精确度即光谱仪的精度也叫光谱仪的重现性，是光谱仪最重要的指标，一般情况下选用均匀性好的标样来验证，在中国，最权威的是国标样品（GB），行业标样次之，当然非正式场合，选择使用自己生产的均匀性比较好的样品也是可以的。测试方法：挑选典型元素不同浓度范围的样品，连续激发10个点，以数据的RSD评价仪器的精密度。详细的你可以参考2005版发射光谱仪检定规程，烟台东方分析仪器有限公司

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