面扫描是反映元素在样品表面的分布状态的手段。一张图代表某一个元素的分布,可以用不同的颜色来表示,越亮的地方就代表该元素的含量越高。也可以几张图混合起来,也可以跟电镜图像叠加。每个图谱中都有亮点和黑暗的地方,他们应该是不同的元素,一个图谱就是一种元素,要把这些图谱和SEM照片结合起来分析。
拓展资料:EDS使用X射线能谱仪进行成分分析时,一般有三种基本的工作方式,分别为:定点分析、线扫、面扫。根据不同的测试目的,可以选择相应的分析模式。当测试样品为非均质样品时,可以使用线扫、面扫得到非常直观的结果。
就定量来说,SEM点分析比线分析和面分析更准确,扫描的方式不同,线分析和面分析只能定性的分析观察视场的元素分布情况(线分析是沿着某个界面的元素分布起伏,而面分析是看整个视场的元素分布情况),点分析可以基本定量分析元素。SEM/EDS是扫描电子显微镜和X-射线能量色散谱仪的简称,两者组合使用,功能非常强大,既能观察微区的形貌又能对微区进行成分分析,在各类分析工作中被广泛运用。
EDS mapping时间就长的多了,尤其是如果想得到比较确定的数据的话,一个线扫就可以耗费半个小时。EDS mapping的分辨率不仅取决于束斑尺寸,由于收集时间比较长,样品漂移的影响更大,所以比eels mapping 差不少。
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