怎么用SEM看薄膜截断面

针对怎么用SEM看薄膜截断面来回答：

献峰科技指出：在Si片上镀一层非晶碳膜（厚度为几十个nm，导电性能较差），用金刚石刀直接切割出试样，然后进行SEM观察，希望得到薄膜的厚度。

第一次去做时表面没有喷金，看到的断面效果也很差，很难清楚的看到薄膜与基体的分界面。

希 望 采 纳 不 足 可 追 问

要是放大倍数要求不大的话，建议采用环境扫描电镜，那个在20000倍以下，成像效果挺好的。我的是喷金以后，用场发射电镜，效果也挺好的啊

你是不是用手不小心抹掉了，二氧化硅薄膜很脆弱的

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