SEM改变景深大概通过这么几个途径
(1)增大工作距离(WD)
(2)减小束斑尺寸(Spot)
(3)增加光阑数量
(4)有效的消除象散
另外,景深也是和放大倍数有关,在小的放大倍数下,景深要大很多。
7500F是日本电子卖的比较好的冷场,冷场的束斑较热场的要小很多,因此景深应该可以保证。
要是放大倍数要求不大的话,建议采用环境扫描电镜,那个在20000倍以下,成像效果挺好的。我的是喷金以后,用场发射电镜,效果也挺好的啊你是不是用手不小心抹掉了,二氧化硅薄膜很脆弱的
工作距离WD的概念是物镜下表面到试样表面的距离,但是由于每次放入不同样品的高度不一样,每个样品上的不同区域的形貌起伏也不同,这均使得WD发生变化。所以,操作扫描电镜时,需要做的第一件事就是先粗略地标定WD,方法就是在某一特定放大倍数下获得聚焦清楚的图像,根据此时的焦长自动标定出相对准确的WD,而后,你继续调节WD的数值才是相对真实可信的。注意,调节WD是要靠机械马达,而利用焦距判定WD是利用焦长以及SEM的系统软件,相比之下,前者是粗调,后者是精确值。你在同一试样上的不同高度的微区聚焦时,该微区距离物镜下表面的WD精确值当然会因聚焦条件的变化而被重新校正。所以拍照所得的WD会发生微小的变化。欢迎分享,转载请注明来源:夏雨云
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