怎么用SEM看薄膜截断面

针对怎么用SEM看薄膜截断面来回答：

献峰科技指出：在Si片上镀一层非晶碳膜（厚度为几十个nm，导电性能较差），用金刚石刀直接切割出试样，然后进行SEM观察，希望得到薄膜的厚度。

第一次去做时表面没有喷金，看到的断面效果也很差，很难清楚的看到薄膜与基体的分界面。

希 望 采 纳 不 足 可 追 问

可以把材料切一小块儿，然后镶样吧（就像磨小试样的金相一样），磨好后再喷金，然后再用SEM观察玻璃涂层的均匀性以及厚度吧。楼上说的掰断的方法，看是能看，但看的都是

断口

的形貌吧，是否会影响观察玻璃涂层的厚度呢。

透射不是用来看面 的MCWANDE(站内联系TA)TEM应该是可以做的. 只不过是制样比较麻烦. 一般应该是要切片和打磨, 使得样品足够薄. 你可以GOGGLE一下, 应该可以找到可参考的PROTOCOL的.zhuzhen(站内联系TA)cross-sectional TEM，关键是制样，材料测试版有人问过类似问题，可搜下wyw423(站内联系TA)好像可以树脂镶嵌然后切片来看，当然这是指比较容易切得样品了还有就是用玻璃保护镶嵌好了，磨片子，离子减薄yuan0019(站内联系TA)截面的话还是sem吧，简单很多的。MCWANDE(站内联系TA)SEM放大倍数没有TEM大, 纳米颗粒的细节一般看不到.现在还有三位TEM, 通过多个不同旋转角度的成像还原纳米颗粒的三维全貌. 不过最好由专业技术人员做比较好.dsc516(站内联系TA)用SEM好啊!如果要TEM的话，可能需要对截面进行处理，比如镀金。不镀的话，那TEM的电子穿透能力要调低。参与！！hongxinglee(站内联系TA)必须进行超薄切片，这个工艺本身就是一项研究，你可以联系别人给你做！制样的钱可能比看TEM的钱贵好几倍，中科院物理所电镜室最好了！但可能很贵，如果你的样品很好，必须做，做了能上很好档次的文章你可以试试。不然我还不觉得你不做算了！

---