透射电镜edx能谱数据导出来后怎么分析

透射电镜edx能谱数据导出来后怎么分析,第1张

测试出能谱后,对应的软件上有显示元素种类,该元素对应哪几个峰形。有时候会出现很多不知名的其他元素,这个时候要根据自己所测试物质所含元素的组成进行辨别。测试时,分为面扫和点扫,面扫对应SEM上显示的一个面中各元素含量,点扫则对应该点(实际上由于探针会飘动,所以也会收集到附近/周围点的元素情况)。收集的时间长短,决定了峰的强度大小,一般为了数据可靠,收集的时间要长一些。最后,EDX会给出以At%和wt%为单位的各元素数据,At%表示原子百分数,wt%表示质量百分数。根据wt%除以各种元素的相对原子质量,可以计算出物质的结构式。但是,EDX只是一个半定量的测试方法,结果还不够精确。想要获得更加精确的数值,可以用ICP(含金属的物质)。

因为有些扫描机器在EDX模式下,不会支持单独的图像采集,但是你在打完能谱以后,能谱会自动将你打能谱的图片,和你的能谱数据保存在一起,所以你也不需要单独采集这个图像。

另外,不知道你是企业还是科研论文用的。我们一般的做法是在SEM图像的模式下采集图片A,因为这个模式下图像最清晰,然后就选取这个图片的位置不动,调整工作距离和工作电压来进行EDX的采集,由于电压和距离的调整,此时图片B的质量很差,但是工作参数很适合打EDX,这是收集EDX数据,然后你在论文或者结果展示的时候用你在图像模式下采集的图像A来作为图像,然后一起附上EDX的数据,这样处理时最佳的

国内做SEM一般用钨针尖去扫光滑固体表面,然后得电压。做液体的话,我觉得有以下几个问题:1.由于钨上面有偏压,若分析的杂志带电或有极性就没法测了(会通电的) 2.如果扫液体表面会由于表面张力是液体吸附上去 3.在液体内部测试的话,你得测那些无极性的大杂质颗粒,但这样容易碰坏针尖,针尖一般只有几个原子。 反正我觉得没法测。 EDX这个我不清楚,似乎是可以的。 你是不是吧SEM看错了,是SERS(表面增强拉曼)吧。


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