可以测成分的,牛津仪器纳米分析部推出了可以在SEM里测量薄膜成分和厚度软件系统ThinFilmID。 ThinFilmID是利用EDS测量薄膜结构的成分和厚度。 这项技术是唯一基于SEM和EDS薄膜分析系统。
SEM的工作原理与使用方法 :
SEM的工作原理 扫描电镜(SEM)是对样品表面形态进行测试的一种大型仪器。
当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时,电子与元素的原子核及外层电子发生单次或多次弹性与非弹性碰撞,一些电子被反射出样品表面,而其余的电子则渗入样品中,逐渐失去其动能,最后停止运动,并被样品吸收。
在此过程中有99%以上的入射电子能量转变成样品热能,而其余约1%的入射电子能量从样品中激发出各种信号。
B打不出来原因有以下几点:1、能谱峰显示的一般是质量百分比,B的原子序数很靠前,与其他相同数量的元素相比,B的峰会小很多,能谱理论检测限在0.1%wt,因此可能识别不到;
2、能谱检测结果经常会有C峰出现,C峰和B峰很接近,可能把B峰掩盖;
3、因此,B是否含有需要手动加入进行确认,这个需要慢慢摸索经验。
扫描电镜能谱分析通过激发原子发射特征X射线来确定成份,只能测试材料表面,根据电压不同测试的厚度不同,且轻元素是测试不了的,不记得是Be还是B之前的元素了,反之从C开始都能测试到,准确性很差。欢迎分享,转载请注明来源:夏雨云
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