请教不导电样品的SEM观察

请教不导电样品的SEM观察,第1张

嘿嘿 这位同学应该刚刚接触到这个sem吧!简单的说吧——由于sem的成像原理是通过detecter获得二次电子和背散射电子的信号,而若样品不导电怎或造成样品表面多余电子或游离粒子的累积不能及时导走,一定程度后就反复出现充电放电现象(charging)。

1、制样:成功制备出所要观察的位置,样品如果不导电,可能需要镀金

2、环境:电镜处在无振动干扰和无磁场干扰的环境下

3、设备:电镜电子枪仍在合理的使用时间内

4、拍摄:找到拍摄位置,选择合适距离,选择合适探头→对中→调像散→聚焦,反复操作至最清晰


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