只能在高真空下工作,因此只光电倍增管图1能观察不含水分的固体导电样品相通过脱水、喷金属化等处理后的生物样品。对于含有适量水分的新鲜生物等样品,传统扫描电镜就无法满足要求。因此,人们渴望既能在高真空下又能在低真空下甚至能在大气环境下工作的扫描电子显微镜。二十世纪八十年代,随着真空系统中多重限压狭缝技术开发成功(即将样品室与柱形导管之间的真空隔开)和气体二次电子探头的研究成功。美国E1ectro Scan公司于1990年推出第一台商用环境电子显微镜(ESEM)。环境扫描电子显微镜的诞生,把人们引入了一个全新的形态观察的领域。
2环境扫描电镜的工作原理和特点
2.1 工作原理
环境扫描电镜有二个探头(ET和GSED),分别在高真空和低真空下工作。因此,它除了保持传统扫描电镜功能外。由于增加了GSED探头,就增加了新的功能。GSED可以工作在低真空(约达20Torr)下,它安装在物镜极靴底部,探头上施以数百伏的正电压以吸引由样品激发出的二次电子,二次电子在探头电场中被加速并碰撞气体分子使其电离,部分气体电离成正离子和电子(这些电子被称为气体二次电子),这种加速一电离过程的不断重复,使初始二次电子信号呈连续比例级数放大,GSED探头接收这些信号并将其直接传到电子放大器放大成电信号去调制显象管或其它成像系统(见图2)
2.2工作特点
(1) GSED探头不含高压元件,可以在低真空的多气体环境中工作,故可以观察含有适量水分的生物样品;(2)信号的初始放大靠电离气体分子进行,不再需要光电倍增管,GSED探头对光、对热不再敏感,故可以观察发光材料和使用热台;(3)当绝缘样品表面沉积电荷时,形成的电场会吸引被电离的气体中的正离子而被中和。故非导体样品表面不再进行金属化喷涂处理,从而更好地观察样品表面的细节;也节省了处理样品的中间环节; (4)由于GSED探头弥补丁ET探头的缺点,使得环境扫描电子显微镜的运用范围大大扩展。样品室内的适量气体对其工作性能不但没有影响,反而有益,气体越容易电离,所获得的放大增益越高,改变探头的偏置电压即可调节增益或适应于不同的气体。由于水蒸汽获取方便,没有毒性,容易电离,成像性能佳,因此成为员常用的气体。但GSED由于在物镜极靴下面,正对着样品,被放射电子由于能量大,能直接射向GSED探头,因此图像背景较深,对图像的对比度会有些影响。
3环境扫描电镜的应用
环境扫描电子显微镜除了具有传统扫描电子显微镜所有功能外,还具有在低真空下观察含有一定水份的样品和非导体样品。特别对生物样品的观察,省去了脱水、喷金属化等处理的中间制样环节,使得样品能保持原有的微观形貌,这对于观察研究生物微观形貌是非常重要的环节。在传统扫描电子显微镜中,动物、植物样品不通过脱水等处理是不能观察的。动、植物样品通过脱水等处理后,样品的微观形貌会产生变化,这是不可避免的,这会影响人们对生物微观形态的认识。但在环境扫描电镜中,动、植物样品可以不需要脱水等处理,使样品少变形或不变形,因而更真实地反映样品的微观形貌。环境扫描电镜在低真空下,员适用于观察那些具有一定强度和含水量很低的样品。比如植物的叶子,动物中的昆虫,作物的籽粒,含有结晶水的固体材料等。随着环境扫描电子显微镜实验技术条件的不断探索和完善,它在生物医学、林学、材料、化工、石油地质、建材、食品、轻工等研究领域会得到越来越广泛的应用。
图3、图4所示是纤维非导体样品在低真空下的图象。在真空度5.2Torr,加速电压15kV,放大倍数1000倍和4000倍下,非导体材料纤维样品的图象清晰,样品表面没有放电现象;而在高真空下,图象放电非常严重,无法成象。
图5所示是头发在低真空下的图象。在真空度2.5Torr,加速电压20kV,放大倍数500倍下,样品不需任何处理,图象很清晰,头发的鱼鳞片的细节很清楚。
图6所示是有湿度的混凝土在低真空下的图象。在真空度0.4Torr,加速电压20kV,放大倍数1480倍下,混凝土的颗粒清楚,没有产生放电。
对于新鲜含有适量水分的生物、动物样品的观察是环境扫描电子显微镜最大的特点。这方面的应用工作已在其他的实验室做了不少,相关的期刊发表了不少的这方面文章。
4实验过程一些问题的认识
虽然环境扫描电镜可以观察含水分的样品,但要出好每种样品的图象,难度还是比较大,必须花费一些时间来摸索,积累更多的经验,才能出好图象,特别在低真空下。在正确认识ESEM工作原理的基础上,在具体运用ESEM观察新鲜生物样品和其它含水样品时,掌握一些操作技术要领是非常必要的。例如:
(1)由于环境扫描电镜的低真空下并非真正的大气压力,样品的水分蒸发问题还是存在,观察时间若太久,势必造成样品因水分蒸发而使样品变形因此,观察和记录操作要尽可能地快。
(2)虽然ESEM的样品台一次可以同时装多个样品,但在观察含水分的生物样品或在真空下易变形的样品时,建议最好一次故人一个样品。
(3)在低真空下工作时,要接上Peltier冷台,该冷台的温度与样品室压力的设置很重要。要保持样品的新鲜度,保持样品的生活状态,温度和压力的设置必须使样品所含游离水处于临界状态,即水分不蒸发也不凝结,但针对不同生物样品的温度与压力条件是不相同的,这需要在实践中摸索并积累经验。
(4)在低真空下工作时,注意摸索样品最佳的工作距离。若工作距离远了,信号接收效果差;距离过近,气流也会影响信号接收效果。
(5)由于在低真空下观察时,样品一般高物镜极靴较近,所以要求样品表面高度差不能太大,特别是大样品,以免在移动样品过程中碰到物镜极靴。
1、放大率:
与普通光学显微镜不同,在SEM中,是通过控制扫描区域的大小来控制放大率的。如果需要更高的放大率,只需要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到。
所以,SEM中,透镜与放大率无关。
2、场深:
在SEM中,位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象。这一小层的厚度称为场深,通常为几纳米厚,所以,SEM可以用于纳米级样品的三维成像。
3、作用体积:
电子束不仅仅与样品表层原子发生作用,它实际上与一定厚度范围内的样品原子发生作用,所以存在一个作用“体积”。
4、工作距离:
工作距离指从物镜到样品最高点的垂直距离。
如果增加工作距离,可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深。如果减少工作距离,则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。通常使用的工作距离在5毫米到10毫米之间。
5、成象:
次级电子和背散射电子可以用于成象,但后者不如前者,所以通常使用次级电子。
6、表面分析:
欧革电子、特征X射线、背散射电子的产生过程均与样品原子性质有关,所以可以用于成分分析。但由于电子束只能穿透样品表面很浅的一层(参见作用体积),所以只能用于表面分析。
表面分析以特征X射线分析最常用,所用到的探测器有两种:能谱分析仪与波谱分析仪。前者速度快但精度不高,后者非常精确,可以检测到“痕迹元素”的存在但耗时太长。
观察方法:
如果图像是规则的(具螺旋对称的活体高分子物质或结晶),则将电镜像放在光衍射计上可容易地观察图像的平行周期性。
尤其用光过滤法,即只留衍射像上有周期性的衍射斑,将其他部分遮蔽使重新衍射,则会得到背景干扰少的鲜明图像。
扩展资料:
SEM扫描电镜图的分析方法:
从干扰严重的电镜照片中找出真实图像的方法。在电镜照片中,有时因为背景干扰严重,只用肉眼观察不能判断出目的物的图像。
图像与其衍射像之间存在着数学的傅立叶变换关系,所以将电镜像用光度计扫描,使各点的浓淡数值化,将之进行傅立叶变换,便可求出衍射像〔衍射斑的强度(振幅的2乘)和其相位〕。
将其相位与从电子衍射或X射线衍射强度所得的振幅组合起来进行傅立叶变换,则会得到更鲜明的图像。此法对属于活体膜之一的紫膜等一些由二维结晶所成的材料特别适用。
扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描,激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像,获得测试试样表面形貌的观察。
参考资料:百度百科-扫描电子显微镜
我自己碰到的图像漂移有:1。样品固定不牢固,或者样品太。因此样品大小要合适,并用导电胶固定牢固。
2。刚放入样品,开始观察时图像漂移较大,可等半小时左右在开始,图像漂移消除或减弱。
3。样品导电性差,荷电现象导致图像漂移不清楚,可降低电压或者样品表面喷金(碳)处理。
4。扫描电镜对中不好导致聚焦过程中图像移动。
5。高倍观察时,环境振动也会导致图像漂移或者浮动。
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