如何检测薄膜是否有析出物

您好，检测薄膜是否有析出物的方法有多种，其中最常用的方法是通过X射线衍射（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）来检测。XRD可以检测薄膜中的晶体结构，从而判断是否有析出物。SEM可以检测薄膜的表面形貌，从而判断是否有析出物。此外，还可以使用拉曼光谱（Raman spectroscopy）和热重分析（TGA）来检测薄膜中的析出物。

你的镀膜喷的是什么金属，金，pt，Pt/Pa，还是Ir？如果是Au，Pt的可以用王水溶掉吧我没做过，只是猜测。至于镀层厚度，要看你的具体情况了，几个nm到十几个nm都有。如果你做能谱可能要薄一点，如果想观察到清晰图像，不被样品的二次电子干扰，可能就要厚一点。

SEM抛光我想应该是要清洁一下表面,避免表面含有一些脏东西之类的,如果是要看组织,不仅最后不是抛光,而且做SEM之前还需要腐蚀,SEM的二次电子成像原理就是要求表面凹凸不平,如果抛光了的话就没办法看二次电子像了,只能用背散射看了

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