sem扫描电镜测量需要多长时间

sem扫描电镜测量需要多长时间,第1张

测量时间样品类型和测试要求而不同。

电镜测量过程包括:制样→放样→确认位置→拍照、测试等。

1、对于简单样品,可能不需要特别制样,直接取样放样(要抽真空)就可以,该过程可能需要几分钟到十几分钟;对于负责样品,可能需要断开、抛光腐蚀或者其他处理,时间就不能确定了,有的可能要半天,抽真空放样可能半个小时;

2、如果单纯拍几张照片,没有特别要求,几分钟就可以确认位置和拍完照片,如果在样品上找某些特定的特征拍照时间就可能长很多(这也与拍照人的操作熟练程度有关),如果还要测能谱或者其他的内容,时间可能会更延长。

如果楼主不能判断自己样品符合以上哪些内容,不能确认时间,可以详细说下你的样品和测试内容,才能准确知道测试时间

1、扩散泵不给力了

用电离规单接到扩散泵泵口,看扩散泵单抽能达到多少,要看抽的时间和极限

2、系统有微漏

慢慢检漏吧,看看保真空时间达不达标

3、箱体太脏

太脏放气量就大了

4、前级不行

机械泵或机械泵加罗茨泵的真空不行,可以用电阻规单独检测前级管道。


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