标准Denka M-3型六硼化镧灯丝Standard Denka Model 3 LaB6 Cathodes,在SEM、TEM、X-Ray、Electron Beam Lithography等领域应用。六硼化镧都是最佳的阴极材料。特征:低干扰、熔点高、热稳定性好低蒸压,减少材料损失化学性质稳定。亮度高,10倍于钨丝亮度,Denka M-3初始亮度值1x106 A/cm2。
标准灯丝一般有三种形状:标准尖Standard Tips,也即90°圆锥体/圆尖,,半径15μ。平尖Flat(Truncated)Tips,圆锥体截去顶端。平尖是优先选择的,稳定性和使用寿命是我们的主要考虑因素,亮度有时需要做出一点牺牲。平尖有两种角度的椎体90°和60°,多种半径尺寸可供选择。尖尖Sharp Tips,也即60°圆锥体/圆尖,半径有5u和10p,当需要很高的初始亮度而使用寿命暂不考虑时,尖尖就是最佳选择。
SU9000是冷场发射电子枪,即电子枪阴极温度在300K的常温下发射电子, 冷场发射阴极尖的气体吸附会影响功函数,并引起发射电流波动。提高电子枪室的真空度,10的负8Pa,可以降低气体的吸附速率,但无法避免,对发射尖端进行瞬间加热到2000℃以上(flash),将会有效的脱气。当真空度为10的负7Pa条件下,针尖因为离子轰击很快损坏。8-12小时必需进行Flash脱气恢复,然后需要等待30分钟,发射束流才会相对稳定。
而热场发射电子枪阴极发射温度一般在1500℃以上,气体分子不会吸附在阴极尖端,所以不需要Flash.
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