用SEM测超薄薄膜厚度，如何制样才能保证导电性足够好？

想准确测定厚度还是很麻烦的，关键就在于制样，关于镀层或者薄膜厚度的测定有相关标准的，标准名称我不太记得了，改天给你发过来也行（如果需要），大概意思是说在要测的镀层外面再镀一层镍，然后把材料固化在树脂中，再做截面，或者抛光，然后再测定，关键是不要破坏镀层.关于SiO2不导电的问题，喷金或者喷碳就可以解决.

金属镀膜法和组织导电法

镀导电膜对于sem有效分析不导电样品有不可缺少

但是导电膜也有可能由于本身的特点造成图像的扭曲甚至假象

一般导电膜无外乎三种材料：Au，Pt，C

专家建议,需要高分辨的情况下,尽量使用Pt或者Pt-Pd合金膜

因为它对图像的扭曲最小。

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