如何利用sem观察材料内部结构

如何利用sem观察材料内部结构,第1张

观察不同类型的材料做对比的话,尽量选取相同放大倍数的照片进行对比。这样的话更有说服力,SEM最大的作用就是观察材料的微观结构和形貌,如果准备写文章的话,文章中将你的SEM照片视野范围内的现象描述清楚即可。

SEM描电镜主要应用于微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。SEM一般通过搭配能谱仪EDS使用,可利用EDS进行元素成分定性、定量分析。用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污 染物的化学元素组成。

XRD可以做定性,定量分析。即可以分析合金里面的相成分和含量,可以测定晶格参数,可以测定结构方向、含量,可以测定材料的内应力,材料晶体的大小等等。一般主要是用来分析合金里面的相成分和含量。

样品制备:

通常定量分析的样品细度应在1微米左右,即应过320目筛。

SEM是利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态,即用极狭窄的电子束去扫描样品,通过电子束与样品的相互作用产生各种效应,其中主要是样品的二次电子发射。


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