SEM EDS相对质量分析

你当然可以这么做，只是误差比较大。

实际一般情况我们只需要知道相对量就好了，并不需要这么精确的数值。

如果确实需要精确数值，那需要标定，毕竟不同元素的响应值区别还是很大的。

实际上，你的ZSM-5的硅铝比就能验证，SEM数值跟化学法数值差距还是很大的；但这并不妨碍很多人直接用SEM数据表征他们样品的硅铝比

SEM是scanning electron microscope的缩写，中文即扫描电子显微镜，扫描电子显微镜的设计思想和工作原理，早在1935年便已被提出来了。1942年，英国首先制成一台实验室用的扫描电镜，但由于成像的分辨率很差，照相时间太长，所以实用价值不大。经过各国科学工作者的努力，尤其是随着电子工业技术水平的不断发展，到1956年开始生产商品扫描电镜。近数十年来，扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中，促进了各有关学科的发展。

EDS, an HP company 是全球信息服务业领导者之一，以协助全球客户提高企业的运营绩效。另有EDS (能谱，Energy Dispersive Spectrometer)，EDS电气设计软件包

即使你是走腐蚀失效分析的，你对铸钢样品腐蚀曾德分析，也仍然会有多种不同的目的，当然也会要求使用不同的分析方法和仪器。

你提到想用SEM+EDS做锈层元素分布。估计你的目的是要分析腐蚀过程中元素的迁移情况。这个有意义的位置不在锈蚀下来的铁锈本身，而是在基体锈蚀层的表层。原因是，基体之所以发生腐蚀失效，是与基体抵抗腐蚀介质的能力、腐蚀介质与基体间的相互作用机制（腐蚀机理）等相关的。例如，你所讲的铸钢，在通常的盐雾试验后，其表面的腐蚀到底是均匀腐蚀、还是非均匀腐蚀（孔蚀）？是化学腐蚀、电化学腐蚀还是符复合机制？是沿晶界还是穿晶腐蚀？等等这些，都需要你对界面和基体表层进行分析观察。

希望你按照上面的分析思路能够有所收获。

---