透射电镜(tem)观察二维结构,分辨率可达到几个埃,放大倍率最高能达到100万倍,纳米级别的都可以看到
````应该是景深吧``
焦深计算公式
L= ±[(r/M)-d]/2α 其中:
L: 焦深
r: 显像管最小分辨距离
M:放大倍数
d:入射电子束直径
2α:物镜孔径角。
从上面的式子可以看出影响焦深的因素,其中隐含了工作距离w。物镜孔径角与工作距离和入射电子束直径有关。由于r(显像管的分辨率)和2α都是未知数,实际上不能计算。焦深也只是个人的视觉感受,还是直观的测量一下为好。
又查了资料``显像管最小分辨距离为0.22mm-0.3mm, 孔径角的典型数值为10-2—10-3rad.利用公式L= ±[(r/M)-d]/2α可以计算出在有效放大倍率下的焦深数据。设d=3纳米,孔径角2α=10-2 rad,r=0.3mm。计算焦深如下:
1000倍下为59.4微米。5000倍下为11.4微米。10000倍下为5.4微米。超过100000倍已经超过了有效放大倍率。不能计算。
提问有些模糊。检测的目的是什么?
如果是要查看裂纹的源头和裂纹形貌,我们帆泰检测是用的SEM,10万倍左右可以看的很清晰了,主要是用来做材料的失效分析;
如果你是QC验货来查看,一般10倍的目镜就够了。
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