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扫描电镜(SEM)一般用来观察组织细胞的表面形貌,我见过的SEM可以观察到微绒毛、伪足、正在死亡的细胞表面出现的穿孔等结构,可能还有更高级的吧。透射电镜(TEM)可以用来观察细胞内部的细胞器等超微结构。不过我猜想操作技术足够精细到将一个细胞剖开的话,SEM也是可以观察细胞内部的。SEM描电镜主要应用于微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。SEM一般通过搭配能谱仪EDS使用,可利用EDS进行元素成分定性、定量分析。用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污 染物的化学元素组成。
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