用SEM测超薄薄膜厚度，如何制样才能保证导电性足够好？

想准确测定厚度还是很麻烦的，关键就在于制样，关于镀层或者薄膜厚度的测定有相关标准的，标准名称我不太记得了，改天给你发过来也行（如果需要），大概意思是说在要测的镀层外面再镀一层镍，然后把材料固化在树脂中，再做截面，或者抛光，然后再测定，关键是不要破坏镀层.关于SiO2不导电的问题，喷金或者喷碳就可以解决.

低分辨率下，要不要喷金根据材料电导率决定，一般分辨率会比较清晰高分辨率下（0.5微米往下），导电不好的材料表面会模糊不清。喷金之后，表面导电性改善，分辨率能达到几十纳米左右。所以金属样品不用喷金，而陶瓷纳米颗粒样品最好在表面镀层铂金。如果在SEM下做元素分析的话，最好不要喷金，这样污染比较大

你看看电子显微镜的测试原理，SEM本来就是靠检测电子束打到样品表面之后的反射电子来观察材料表面形貌的。对于高分子而言，不像金属那样能激发出反射电子所以很难做出图像，所以才要进行喷金处理。看结晶晶体的话用带有热台的偏光显微镜比较好，SEM可能看不出。

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