扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope, SEM)是一种电子显微镜,它通过用聚焦电子束扫描表面来产生样品的图像。电子与样品中的原子相互作用,产生包含样品表面形貌和成分信息的各种信号。电子束的扫描路径形如光栅,将电子束的位置与检测信号的强度相结合即可输出图像
这是两个缩略词:FESEM (field emission scanning electron microscopy)场发射扫描电子显微镜
SEM (scanning electron microscopy) 扫描电子显微镜
下面是专业方面的差别,找来的,自己不懂:
FESEM就是用场发射枪的SEM,SEM则是统称。场发射枪比LaB6(CeB6)的电子束亮度强100倍,比钨灯丝高10000倍,是一个高性能的电子光源。由于它采用的技术能使电子束的束斑很细(最细甚至在0.5 nm以下),所以能有很高的分辨率(目前最高0.4 nm)。
喷金和喷碳是为了增加样品表面的导电性,但FESEM的样品最好不要喷金,甚至最好不要喷碳,为的是能看到最接近原始形貌的图片。由于有高亮度的特点,对于不导电的样品可以把电压降低,或者使用电子束减速模式等新技术,同样能得到质量很高的照片。
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