sem做能谱最低多少可以扫出来

最低含量为0.X%。

因为我们进行测量的物质都是定量的，最低含量为0.X%。EDS 点分析是将电子束固定于样品中某一点上，进行定性或者定量的分析。每一种元素在图中会出现一种峰，由此可以看出样品中所含有的元素，同时展示了相对质量分数和相对原子分数及误差，误差越大表示元素的相对含量可信度越低。

SEM是扫描电子显微镜，最高可放大至20万倍左右，用二次电子成像的原理来观察某种物质的微观形貌。EDS是能谱仪，是每种元素对应的电子能不同，来鉴别元素，通常是和SEM结合使用，也就是说在SEM上安装EDS附件，在观看形貌时，选择一定区域用EDS打能谱，也就知道了该区域的元素组成。XRD是X射线衍射仪，其原理是高压下，阴极发出的电子形成高能电子束，轰击阳极靶材（通常是Cu），靶材的内部电子能量升高，被激发出来，当它回到基态的过程中，多余的能量以X射线、俄歇电子等形式释放出来。XRD收集的是其中的X射线，X射线扫到样品上，会根据布拉格方程产生衍射角，衍射峰。每种物质(不同样品)的衍射峰不同，因此通常用来鉴别物相，也会根据峰面积算半定量。

打能谱的时候，扫描电镜是切换到edx模式的，在这个模式下主要是采集元素的信息，图像的信息都是要切回到sem模式下采集的，而且一般edx模式下，你所加的电压时比较大的，一般能谱15kv，sem图像5kv，而且能谱模式下，工作距离也远一些，所以在能谱模式下图片的质量都不高，要收集图片还是去sem模式下

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