1、在SEM中,二次电子被二次电子检测器所收集。常用检测器由收集栅、闪烁体、光导管、光电倍增管和前置放大器所组成。闪烁体的表面喷镀铝层,并加上12kV左右的电压。
2、样品受激发产生二次电子后,通过收集栅的电子被该电压加速而入射闪烁体。
你说的是SEM电镜吧,这主要是它的成像原理导致的其可以反映样品表面或者断面的形貌信息。SEM的工作原理为:从电子枪阴极发出的直径20(m~30(m的电子束,受到阴阳极之间加速电压的作用,射向镜筒,经过聚光镜及物镜的会聚作用,缩小成直径约几毫微米的电子探针。在物镜上部的扫描线圈的作用下,电子探针在样品表面作光栅状扫描并且激发出多种电子信号。这些电子信号被相应的检测器检测,经过放大、转换,变成电压信号,最后被送到显像管的栅极上并且调制显像管的亮度。显像管中的电子束在荧光屏上也作光栅状扫描,并且这种扫描运动与样品表面的电子束的扫描运动严格同步,这样即获得衬度与所接收信号强度相对应的扫描电子像,这种图象反映了样品表面的形貌特征。欢迎分享,转载请注明来源:夏雨云
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