SEM为什么可以获得3维图像?

SEM为什么可以获得3维图像?,第1张

谁说电子显微镜不能得到三维图像?

扫描电镜是用聚焦电子束试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗 粒,成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是最主要的成像信号。由电子枪发射的能量为 5 ~ 35keV 的电子,以其交 叉斑作为电子源,经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束,在扫描线圈驱动下,于试样表面按一定时间、空间顺 序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用,产生二次电子发射(以及其它物理信号),二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集 转换成电讯号,经视频放大后输入到显像管栅极,调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度,得到反映试样表面形貌的二次电子像

1、制样:成功制备出所要观察的位置,样品如果不导电,可能需要镀金

2、环境:电镜处在无振动干扰和无磁场干扰的环境下

3、设备:电镜电子枪仍在合理的使用时间内

4、拍摄:找到拍摄位置,选择合适距离,选择合适探头→对中→调像散→聚焦,反复操作至最清晰


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